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    北京特博萬德科技

    羅門哈斯RHOMHAAS研磨墊/拋光墊等產品

    北京特博萬德專業代理銷售 羅門哈斯RHOMHAAS全系列產品。

    產品種類包括:研磨墊、拋光墊、拋光液、Template、Grind、背膜等。  

    型號包括:MH、SUBA、Supreme、WhiteX、POLITEX、DPC、IC、NP、NALCO、Nanopure、Machplaner等。

    主要應用:Silicon wafer, GaAs wafer, GaSb wafer, Ge wafer, MCT, CZT, GaP等晶片的研磨和拋光。



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    商品描述

    北京特博萬德專業代理銷售 羅門哈斯RHOMHAAS全系列產品。

    產品種類包括:研磨墊、拋光墊、拋光液、Template、Grind、背膜等。  

    型號包括:MH、SUBA、Supreme、WhiteX、POLITEX、DPC、IC、NP、NALCO、Nanopure、Machplaner等。

    主要應用:Silicon wafer, GaAs wafer, GaSb wafer, Ge wafer, MCT, CZT, GaP等晶片的研磨和拋光。





    物理性

    研磨液類型

    磨粒

    固體成分

    pH

    粒子徑

    研磨促進劑

    標準使用稀釋倍率

    研磨用于

    Wt%

    nm

    NP5001

    SiO2

    15

    8.5

    230

    -

    10

    硅,塑料

    NP5501

    SiO2

    50

    8.5

    60

    ×

    20

    化合物、氧化物,其他

    NP6220

    SiO2

    6

    11.0

    70

    20

    1次、2

    NP6501

    SiO2

    40

    11.0

    80

    20

    1次、2

    NP6504

    SiO2

    28

    11.7

    80

    20

    1次、2

    NP6601

    SiO2

    25

    11.5

    80

    ×

    20

    1次、2

    NP6605

    SiO2

    25

    11.5

    25

    ×

    20

    1次、2

    NP8020

    SiO2

    9.5

    10.4

    70

    -

    20

    硅最終研磨

    NP8030

    SiO2

    10.5

    10.4

    70

    -

    30

    硅最終研磨

    NP8040

    SiO2

    4

    10.4

    70

    -

    40

    硅最終研磨

    NP8040W

    SiO2

    7

    10.4

    70

    -

    40

    硅最終研磨

    EG1102

    SiO2

    20

    11.2

    80

    20

    硅邊緣

    NP1000MS

    SiO2

    10.6

    2

    80

    -

    -

    壓膜Cu

    MS2000

    SiO2

    40

    10.25

    80

    -

    2

    藍寶石

    ST1005

    ALO3

    14

    4.5

    <300

    -

    -

    鎢,陶瓷,其他

    ILD3025

    *SiO2

    25

    10.5

    85

    -

    2

    device氧化膜(NH4OH)

    ILD3225

    *SiO2

    25

    11

    85

    -

    2

    device氧化膜(KOH)


     

    Pad 厚度(mm

    壓縮率(%

    硬度(Shore-D

    密度(g/c3

    IC1000

    1.27

    1.17~1.37

    0.5~5.0

    52~62

    0.74~0.85

    2.03

    1.93~2.13

     

    制品

    Supreme RN-H

    Supreme RN-R

    Whitex RG-S

    厚度(mm

    1.53

    1.43

    1.45

    壓縮率(%

    13.8

    14.8

    13.5

    硬度(Asker-C

    50

     

    55

    平均數直徑(um

    37

     

    42

       

     

    *Suba400

    Suba400H

    Suba600

    Suba800

    Suba808

    Suba800M2

    厚度

    mm

    1.27

    1.27

    1.27

    1.27

    0.70

    1.27

    1.20-1.34

    1.20-1.34

    1.20-1.34

    1.20-1.34

    0.63-0.77

    1.20-1.34

    硬度

     

    60

    67

    80

    83

    80

    87

    55-66

    62-70

    76-83

    79-85

    75-85

    83-91

    壓縮率

    %

    9.4

    7.5

    4.2

    3.3

    4.5

    2.7

    5.0-11.0

    4.0-10.0

    2.5-5.5

    2.5-5.5

    2.0-6.0

    1.4-3.8

    Ra

    um

    16.7

    16.5

    15.3

    15.0

    16.8

    13.8


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