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    北京特博萬德科技

    薄膜曲率應力測量儀

    德國OEG公司研發生產的FLATSCAN掃描儀,采用光學非接觸式測量方法對樣品,如: 硅晶圓和玻璃襯底, 進行弓/翹曲、斜率和表面曲度3D/2D測量。
    此外,儀器自帶的測量軟件可計算出樣品的膜層應力。

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    商品描述

    德國OEG公司研發生產的FLATSCAN掃描儀,采用光學非接觸式測量方法對樣品,如: 硅晶圓和玻璃襯底, 進行弓/翹曲、斜率和表面曲度3D/2D測量。
    此外,儀器自帶的測量軟件可計算出樣品的膜層應力。


    v廠家簡介

    德國OEG公司成立于1991年,設計制造光學測量和半導體測量儀器,產品屬于高精密儀器,設計緊湊操作簡單,超高性價比。深受廣大科研用戶的認可。

    產品包括:

    金剛石切片機

    晶圓平整度測量、曲率、應力測量

    光學測量平臺

    電子準直鏡

    線寬、特征尺寸測量儀

    接觸角、表面張力、表面自由能測量儀

    MTF測量儀

    v晶圓平整度曲率應力測量儀—Flatscan光學

    光學非接觸表面測量儀,能進行大范圍2D/3D測量,可測量晶圓應力(薄膜應力),表面半徑曲率和斜坡。 

    FLATSCAN適用于任意種類反射表面的平整度、波紋度和彎曲(弓/翹曲)表面輪廓的非接觸式自動2D3D測量,并通過軟件計算其薄膜應力,如硅晶圓、鏡面、X射線反射鏡(多層膜反射鏡/Goebel鏡)、金屬表面、拋光的聚合物等等。

    v測量原理

    表面輪廓

    垂直于樣品表面的入射光,經過表面反射后形成的反射角,會因表面輪廓的不同而產生變化。FLATSCAN正是依據測量點之間反射角的變化,通過軟件重新計算并構建了樣品表面輪廓,實現了全自動高精度的測量。

    薄膜應力

    對于薄膜、單層或者多層鍍膜的應力,軟件主要依據Fowkes的理論,通過檢測鍍膜前后,基板曲率半徑的變化量計算得到。比如在半導體行業或者其他應用領域,當反射表面被加工處理后(鍍膜或者去鍍膜),操作人員能夠利用FLATSCAN快速地對晶圓薄膜應力進行檢測。

    v應用

    FLATSCAN適用于任意種類反射表面的,平整度、波紋度和彎曲(弓/翹曲)的非接觸式測量,如硅晶圓、鏡面、X射線反射鏡(多層膜反射鏡/Goebel鏡)、金屬表面、拋光的聚合物等。

    v產品特性

     高測量精度。

     ? 非接觸式測量。

     ? 3D/2D可選。

     ? 近似任意大小的可測量面積。

     ? 可以檢測更高的彎曲度。

     ? 適用于較大面積樣品的測量。

     ? 適用于高彎曲表面,如X射線反射鏡(多層膜反射鏡)、硅晶圓等。

    v產品參數

     1. 光學掃描系統

    1.1非接觸式激光光源測量。

    1.2具有自動測量晶圓的曲率,輪廓和薄膜應力功能。

    1.3具有3D/2D可選的應力測量模式。

    1.4光學系統可測量標準直徑200mm、300mm的晶圓及需求的更大的視野。

    1.5輪廓測量重復精度100nm。

    1.6掃描速度為10mm/s-30mm/s。

    1.7光學系統曲率分辨率0.1arcsec,精度1arcsec。

    2. 樣品臺

    2.1樣品臺具有X,Y,Phi軸自動位移功能,并可以在軟件系統中控制和調節。

    2.2具有自動調平功能。

    3. 數據采集和記錄系統

    具有方便易用的軟件系統,具有方便易用的軟件系統,具有友好的用戶界面;

    軟件系統可以采集并記錄鍍膜前后的表面輪廓和曲率數據,并可以根據鍍膜前后;

    數據計算薄膜材料的應力分布和翹曲度;

    軟件可以讀出鍍膜前后的晶圓曲率半徑,顯示三維形貌。


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