<rt id="298xk"><optgroup id="298xk"></optgroup></rt>
  1. <source id="298xk"><nav id="298xk"><button id="298xk"></button></nav></source>
  2.  
    • 歡迎光臨 北京特博萬德科技有限公司 企業官網!
    簡體中文
    北京特博萬德科技

    接觸角/表面張力/自由能測量儀

    德國OEG生產的半導體行業專業的SURFTENS系列測量儀,含手動、自動。
     能夠精準測量接觸角/表面張力/自由能。

     最大晶圓尺寸可達300mm。

     適用于晶圓鍍膜和光刻過程檢控、控制晶圓的涂層和光刻工藝、檢查硅晶圓表面潤濕能力,客觀檢測晶圓表面處理后的表面自由能,生產中控制技術參數、保證生產質量或開發新的鍍膜技術。適用于無塵室的要求。




    0.00
    0.00
      
    商品描述

    德國OEG生產的半導體行業專業的SURFTENS系列測量儀,含手動、自動。
     能夠精準測量接觸角/表面張力/自由能。

     最大晶圓尺寸可達300mm。

     適用于晶圓鍍膜和光刻過程檢控、控制晶圓的涂層和光刻工藝、檢查硅晶圓表面潤濕能力,客觀檢測晶圓表面處理后的表面自由能,生產中控制技術參數、保證生產質量或開發新的鍍膜技術。適用于無塵室的要求。





    型號

    SURFTENS universal

    (通用型)

    SURFTENS HL

    (專業晶圓檢測)

    SURFTENS Automatic

    (工業型)

    SURFTENS WH30

    (工業型)

    手動/自動

    手動

    手動

    自動

    自動

    測量臺

    標準支承面100mm× 100mm(可拓展),高度可調(最高50mm

    適用于200mm300mm晶圓的可選,樣品最厚5mm

    標準測量區域200× 200mm。適用大平面(如液晶玻璃基板,8-12 英寸英寸的晶圓等)樣品最大厚度5mm,可全自動高精度定位

    3軸晶圓裝載機械臂,適用于直徑200mm300mm晶圓;200mm晶圓裝載系統或300mm前開式晶圓送盒;激光晶圓掃描器;真空吸盤系統;開槽系統

    滴液系統

    手動滴液,高度可調,可升級雙注射器、自動滴液系統,添加電極驅

    動和軟件控制功能,用戶可自定義滴液量

    自動滴液(電機驅動),軟件控制單次劑量

    Automatic類似,全自動馬達,可通過編程控制液體精準定位在晶圓上的滴點位置與滴液過程

    光學系統

    顯微物鏡0.8x(可升級1.6x/3.2x),光學傾角可調(0-6°

    1倍固定放大倍率,電機驅動對焦,光學儀器傾角

    固定放大倍率,電機驅動對焦,光學儀器傾角。高分辨率CCD相機,440,000像素

    附帶光學系統,高分辨率CCD相機,440,000像素

    圖像采集系統

    USB2.0相機(黑/白,130萬像素,可升級500萬像素和模擬攝像機)

    高分辨率CCD相機,440,000像素

    光照單元

    長壽命高能LED燈,亮度可調

    長壽命平板燈,亮度可調

    長壽命平板燈,亮度可調

    長壽命平板燈,亮度可調

    擴展組件

    傾斜裝置(手動,最大傾斜角90°,分辨率);接觸角測量基板(一種通過使用光刻工藝顯示接觸角照片,用于核查測量儀器精度玻璃基板);恒溫箱(軟件控制,可以在高達80°進行接觸角測量)。

    傾斜裝置、接觸角測量基板、恒溫箱等

    -

    電熱板(清除表面遺留滴液);風機FFU(空氣過濾)

    控制軟件

    主要根據滴液法,可通過不同水滴形狀的擬合方法全自動測量水滴的 接觸角,可手動設置基準,手動測量接觸角,從兩種已知測量液體計 算測量接觸角固體的表面自由能。

    主要根據座滴法,并依據不同的擬合方程(球形、
    多項式),來實現液體與固體表面接觸角的全自動測量。滴液落在晶圓表面后,被軟件自動識別
    用戶還能通過操縱桿調整,并手動定義基線。

    軟件內含評估模塊(Wu氏理論),通過兩種已知的測量液體來計算固體的表面自由能。軟件可通過掃描接口獲得所有圖像,可自動計算最佳的縮放比例。圖片文件可以BMP格式、JPEG格式等復制、讀取、儲存和打印。實時顯示接觸角的圖像(可選);測量前進和后退接觸角(可選)全自動檢測隨時間變化的接觸角,時間間隔自由設定,最小50ms,在圖表顯示(可選);同時測量左右接觸角,并計算中值(可選)

    內含評估模塊(Wu/OWRK理論),且測量系統提供液體數據庫,可供不同液體間測量比對,通過測量兩種不同液體的接觸角,計算被測晶硅的表面自由能。配高性能視頻數字化板(圖像采集卡),測量數據存儲搭建網絡服務器進行數據傳輸、備份和存儲。軟件能自動識別裝載端口、插槽分配情況,可區分不同尺寸的硅晶圓片并自動分配,在測量前自動開槽。

    提供3種用戶級別選擇,可定制

    軟件功能拓展

    軟件內含評估模塊(Wu/OWRK理論),能夠提供固體表面和5種以下液體的接觸角測量,并進行表面自由能計算;軟件還能實時視頻錄像,以AVI格式保存;最后檢測的結果也可以保存為一個記錄文檔或者視頻圖像。

    軟件功能拓展實時視頻圖像顯示當前接觸角;設定檢測時間間隔,并測量與時間相關的接觸角情況,顯示在圖表上(時間間隔自由設定,最小50ms);在實時圖像上測量前進和后退接觸角;同時測量左右兩邊的接觸角,并計算中值;測量滴液期間和滴液后液體體積。

    控制器:3軸步進電機控制器,可進行微小步距操作,控制樣品在X/Y軸方向定位,控制滴液針頭在Z軸方向定位

    控制器:3軸步進馬達驅動晶圓承載平臺,定位精度±0.05mm

    接觸角測量范圍

    1°-180°

    1°-180°

    1°-180°

    1°-180°

    測量分辨率

    0.05°

    0.05°

    0.05°

    0.05°

    測量重復性

    ±0.1°

    ±0.1°

    ±0.1°

    ±0.1°

    測量精度

    ±0.5°

    ±0.5°

    ±0.5°

    ±0.5°

    液滴體積再現性

    0.1μL(根據實時視頻圖像得出)

    0.1μL(根據實時視頻圖像得出)

    0.1μL

    0.1μL

    應用

    在特殊表面處理技術中,通過工藝特性、工藝參數的調整和生產控制使表面潤濕能力改變前后,客觀準確地測量表面自由能。

    SURFTENS universal是一套堅固耐用、實用性強的接觸角測量儀器,特別適應工業領域和科學研究的需求。而且該儀器操作簡單,經過短期的培訓,任何人都能輕松使用。

    SURFTENS HL是專為半導體工業及科學研究而開發的接觸角測量儀器,特別適用于晶圓鍍膜和光刻過程檢控。針對半導體行業設計,客觀地測量晶圓表面處理前后的自由能,檢查硅晶圓的潤濕能力,在生產過程中控制技術參數、保證生產質量或開發新的鍍膜技術,由于系統的穩定性高,特別適合作為標準儀器,用于技術控制。

    針對半導體工業設計,特別是用于控制晶圓的涂層和光刻工藝。檢查硅晶圓表面潤濕能力,客觀檢測晶圓表面處理后的表面自由能,生產中控制技術參數、保證生產質量或開發新的鍍膜技術。適用于無塵室要求。

    應用于半導體工業的,專業全自動表面張力檢測分析;實現自動裝載與測量完美結合(FOUP→裝載滴液測量移液→FOUP),可應用于無塵室中,潔凈等級:100。


    海南彩票网