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    德國FRT晶圓全檢儀
    
			
    FRT公司成立于1995年，專業生產高性能3D表面測量儀器，功能十分強大，性價比超高。
    通過設計研發各種功能傳感器，根據不同的測量任務和測量范圍選擇不同的傳感器，按需求組合成不同規模的系統，配套使用自主開發的測量軟件。
    可廣泛應用于測量單層及多層膜厚、TTV、應力、形貌、結構、缺陷、粗糙度、平整度、凹凸尺寸、彎曲度、翹曲度、磨損度、臺階高度等測量。
    
			
     ￥ 0.00
    
			
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    商品描述
    

    

    FRT公司成立于1995年，專業生產高性能3D表面測量儀器，功能十分強大，性價比超高。
    通過設計研發各種功能傳感器，根據不同的測量任務和測量范圍選擇不同的傳感器，按需求組合成不同規模的系統，配套使用自主開發的測量軟件。
    可廣泛應用于測量單層及多層膜厚、TTV、應力、形貌、結構、缺陷、粗糙度、平整度、凹凸尺寸、彎曲度、翹曲度、磨損度、臺階高度等測量。
    
	
		
    
			
				
    
					v廠家簡介 
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					FRT公司成立于1995年，專業生產高性能3D表面測量儀器。通過設計研發各種功能傳感器，根據不同的測量任務和測量范圍選擇不同的傳感器，按需求組合成不同規模的系統，配套使用自主開發的測量軟件，可廣泛應用于測量單層及多層膜厚、TTV、應力、形貌、結構、缺陷、粗糙度、平整度、凹凸尺寸、彎曲度、翹曲度、磨損度、臺階高度等測量。 
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					vMicroProf? Series晶圓全檢儀 
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					適用材料：半導體：硅，鍺…；化合物半導體：GaAs，InP，SiC，GaN，ZnO…；特殊襯底LiNbO3，DLC…；藍寶石和玻璃晶片，太陽/光伏單/多晶和非晶硅、透鏡晶片等。 
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					v測量功能 
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					晶圓wafer及鍍膜薄膜后的TTV、Bow 、Warp 、Roughness Step 、Height Film Thickness 、Wear 、Defect Inspection 3D Map、Waviness Layer Stacks、Bumps、Flatness、Topography ...。各種附件可選。 
				
    
				
    
					  
				
    
				
    
					  
				
    
				
    
					  
				
    
				
    
					  
				
    
				
    
					 
				
    
			    		
		
    
	    

    

    
	
    
 

    

    
	
    

                                 
                    
    
	
    


    
    
    
  


    	
	
    
 
    
     
    
	
		
    
			
				
    
					  
    
     
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					MicroProf? 100 
				
    
			    		
			
				
    
					MicroProf? 200/300 
				
    
			    		
			
				
    
					MicroProf? MHU 
				
    
			    		
			
				
    
					MicroProf? FS 
				
    
			    		
			
				
    
					MicroProf? FE 
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					用于研發、生產和質量保證的緊湊型多傳感器系統。
    
    MicroProf? 100：通用臺式表面測量工具，MicroProf?多傳感器系列中最小的成員，具有高度的靈活性，可針對性量身定制?？焖俸啽愕卮_定表面形貌、薄膜厚度和樣品厚度等。它可以進行雙面樣品檢測（TTV），同時測量樣品的頂部和底部，并在此過程中確定樣品厚度。此外還可以單獨配置軟件，手動或自動執行測量任務。
    
    MicroProf? 300：MicroProf?系列的高性能和多功能產品，特別適用于質量保證、開發和制造，也可以全自動的方式集成到生產中。無接觸測量不破壞樣品；可確定與理想表面形狀的最小偏差，精確到亞微米范圍；可精確確定狹義公差；多種傳感器可選配，可進行雙側樣品檢測（TTV）。 此外，測量的簡單自動化提高了生產力和工藝可靠性。 
				
    
				
    
					 
				
    
			    		
			
				
    
					全自動晶圓測量設備，可輕松實現不同樣品（晶圓）的全自動測量，最多可放置4個晶圓架，可測量直徑2”到12”的晶圓，并全面集成到生產流程和全自動化中。 
				
    
				
    
					廣泛應用于半導體、MEMS和LED行業中。 
				
    
				
    
					樣品篩選裝置可選。 
				
    
			    		
			
				
    
					全自動多功能半導體測量設備。真空、邊緣處理裝置等靈活配置，并可按照要求定制方案，帶有前端開口式晶圓盒，可自動進出樣品。 
				
    
				
    
					最大可測12”樣品。 
				
    
			    		
			
				
    
					標準型工業級生產前端測量設備。 
				
    
				
    
					集成MicroProf? 300，全自動2D/3D測量，帶有前端開口式晶圓盒，可全自動進出樣品。 
				
    
				
    
					最大可測12”樣品。 
				
    
				
    
					  
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					
    
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					v MicroProf? 200描述 
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					MicroProf? 200是可表征幾乎所有表面和薄膜的非接觸非破壞性的高性能測量設備，已被許多公司成功應用。它基于FRT經驗豐富的多傳感器技術，借助各種附加傳感器，能夠在一個系統內執行多種測量任務，還可最佳化地單獨應用于某項測量任務。也可根據客戶的測量要求進行調整定制。 
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					v 測量功能 
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					平整度、翹曲度、彎曲度、粗糙度、輪廓、表面形貌、臺階高度、薄膜厚度、磨損、三維立體圖、起伏度、缺陷檢測、膜層堆疊、凹凸等。   
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					v MicroProf? 200優勢 
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					測量速度快，定位精度高，分辨率和測量精度高，是表面測量設備的技術領先，用于最高要求的工業和民用領域研究；可進行全自動2D/3D、多任務/多應用測量；使用靈活，可隨時拓展；性價比高，持久耐用，維修維護服務費用低。 
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					v 部分技術參數 
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					System 
				
    
			    		
			
				
    
					MicroProf? 200 
				
    
			    		
			
				
    
					System Requirements 
				
    
			    		
			
				
    
					  
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					Assembly 
				
    
			    		
			
				
    
					Gantry Design 
				
    
			    		
			
				
    
					Environmental Requirements 
				
    
			    		
			
				
    
					Clean, Vibration Free, Stable Temperature 
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					Sensor 
				
    
			    		
			
				
    
					Multi-Sensor 
				
    
			    		
			
				
    
					Input Voltage 
				
    
			    		
			
				
    
					110V/220V AC，1Phase 
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					Scanning Stage 
				
    
			    		
			
				
    
					  
				
    
			    		
			
				
    
					Footprint (L×W×H) 
				
    
			    		
			
				
    
					1100 mm×820 mm×1800 mm 
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					Travel 
				
    
			    		
			
				
    
					250mm×200mm 
				
    
			    		
			
				
    
					Weight 
				
    
			    		
			
				
    
					approx. 500kg 
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					Drive Type 
				
    
			    		
			
				
    
					Direct Drive 
				
    
			    		
			
				
    
					Measuring Characteristics(Measuring Head) 
				
    
			    		
			
				
    
					CWL 600μm (other sensors available) 
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					Bearing Type 
				
    
			    		
			
				
    
					Crossed Roller Bearing 
				
    
			    		
			
				
    
					Measuring Range XY 
				
    
			    		
			
				
    
					250mm×200mm 
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					Encoder Resolution 
				
    
			    		
			
				
    
					50nm 
				
    
			    		
			
				
    
					Measuring Range Z 
				
    
			    		
			
				
    
					600μm 
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					Flatness 
				
    
			    		
			
				
    
					＜4μm/100mm 
				
    
			    		
			
				
    
					Resolution (lateral) 
				
    
			    		
			
				
    
					2μm 
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					Max. Speed 
				
    
			    		
			
				
    
					300mm/s 
				
    
			    		
			
				
    
					Resolution (vertical) 
				
    
			    		
			
				
    
					6nm 
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					Load Capacity 
				
    
			    		
			
				
    
					5kg 
				
    
			    		
			
				
    
					System Requirements 
				
    
			    		
			
				
    
					  
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					Z-Axis 
				
    
			    		
			
				
    
					Motorized Axis 
				
    
			    		
			
				
    
					Environmental Requirements 
				
    
			    		
			
				
    
					Clean, Vibration Free, Stable Temperature 
				
    
			    		
		
    
		
    
			
				
    
					Z-Axis Travel 
				
    
			    		
			
				
    
					50mm (100mm optional) 
				
    
			    		
			
				
    
					Input Voltage 
				
    
			    		
			
				
    
					110V/220V AC，1Phase 
				
    
			    		
		
    
	    

     
    
 
    
 
    

 
 
 

    

    
    
	   
	
		
    
			
    
	
	
    

    

    


    
		
    



    





        
    
     
    	


    





 
	  
	


 
  
	

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