FRT公司成立于1995年,專業生產高性能3D表面測量儀器,功能十分強大,性價比超高。
通過設計研發各種功能傳感器,根據不同的測量任務和測量范圍選擇不同的傳感器,按需求組合成不同規模的系統,配套使用自主開發的測量軟件。
可廣泛應用于測量單層及多層膜厚、TTV、應力、形貌、結構、缺陷、粗糙度、平整度、凹凸尺寸、彎曲度、翹曲度、磨損度、臺階高度等測量。
v廠家簡介 |
FRT公司成立于1995年,專業生產高性能3D表面測量儀器。通過設計研發各種功能傳感器,根據不同的測量任務和測量范圍選擇不同的傳感器,按需求組合成不同規模的系統,配套使用自主開發的測量軟件,可廣泛應用于測量單層及多層膜厚、TTV、應力、形貌、結構、缺陷、粗糙度、平整度、凹凸尺寸、彎曲度、翹曲度、磨損度、臺階高度等測量。 |
vMicroProf? Series晶圓全檢儀 |
適用材料:半導體:硅,鍺…;化合物半導體:GaAs,InP,SiC,GaN,ZnO…;特殊襯底LiNbO3,DLC…;藍寶石和玻璃晶片,太陽/光伏單/多晶和非晶硅、透鏡晶片等。 |
v測量功能 |
晶圓wafer及鍍膜薄膜后的TTV、Bow 、Warp 、Roughness Step 、Height Film Thickness 、Wear 、Defect Inspection 3D Map、Waviness Layer Stacks、Bumps、Flatness、Topography ...。各種附件可選。
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MicroProf? 100 |
MicroProf? 200/300 |
MicroProf? MHU |
MicroProf? FS |
MicroProf? FE |
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用于研發、生產和質量保證的緊湊型多傳感器系統。
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全自動晶圓測量設備,可輕松實現不同樣品(晶圓)的全自動測量,最多可放置4個晶圓架,可測量直徑2”到12”的晶圓,并全面集成到生產流程和全自動化中。 廣泛應用于半導體、MEMS和LED行業中。 樣品篩選裝置可選。 |
全自動多功能半導體測量設備。真空、邊緣處理裝置等靈活配置,并可按照要求定制方案,帶有前端開口式晶圓盒,可自動進出樣品。 最大可測12”樣品。 |
標準型工業級生產前端測量設備。 集成MicroProf? 300,全自動2D/3D測量,帶有前端開口式晶圓盒,可全自動進出樣品。 最大可測12”樣品。
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v MicroProf? 200描述 |
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MicroProf? 200是可表征幾乎所有表面和薄膜的非接觸非破壞性的高性能測量設備,已被許多公司成功應用。它基于FRT經驗豐富的多傳感器技術,借助各種附加傳感器,能夠在一個系統內執行多種測量任務,還可最佳化地單獨應用于某項測量任務。也可根據客戶的測量要求進行調整定制。 |
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v 測量功能 |
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平整度、翹曲度、彎曲度、粗糙度、輪廓、表面形貌、臺階高度、薄膜厚度、磨損、三維立體圖、起伏度、缺陷檢測、膜層堆疊、凹凸等。 |
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v MicroProf? 200優勢 |
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測量速度快,定位精度高,分辨率和測量精度高,是表面測量設備的技術領先,用于最高要求的工業和民用領域研究;可進行全自動2D/3D、多任務/多應用測量;使用靈活,可隨時拓展;性價比高,持久耐用,維修維護服務費用低。 |
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v 部分技術參數 |
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System |
MicroProf? 200 |
System Requirements |
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Assembly |
Gantry Design |
Environmental Requirements |
Clean, Vibration Free, Stable Temperature |
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Sensor |
Multi-Sensor |
Input Voltage |
110V/220V AC,1Phase |
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Scanning Stage |
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Footprint (L×W×H) |
1100 mm×820 mm×1800 mm |
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Travel |
250mm×200mm |
Weight |
approx. 500kg |
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Drive Type |
Direct Drive |
Measuring Characteristics(Measuring Head) |
CWL 600μm (other sensors available) |
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Bearing Type |
Crossed Roller Bearing |
Measuring Range XY |
250mm×200mm |
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Encoder Resolution |
50nm |
Measuring Range Z |
600μm |
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Flatness |
<4μm/100mm |
Resolution (lateral) |
2μm |
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Max. Speed |
300mm/s |
Resolution (vertical) |
6nm |
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Load Capacity |
5kg |
System Requirements |
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Z-Axis |
Motorized Axis |
Environmental Requirements |
Clean, Vibration Free, Stable Temperature |
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Z-Axis Travel |
50mm (100mm optional) |
Input Voltage |
110V/220V AC,1Phase |